第158章 为难啊(第1/2 页)
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方程简单的将光刻机的相关技术讲解了一遍之后，有专家当场问道："方总，我们都知道，阿麦斯EUV光刻机的用到的极紫外光源材料是用的锡液滴。
我想请教一下，你们是怎么用高能激光连续两次同时击中直径仅为20微米的锡液的？"
方程摇了摇头，"我们使用的光源材料并不是锡滴液。"
专家们都有些惊讶！
"不是锡滴液？那是什么？"
方程解释说："大家都知道，锡原子核外电子被激光能量轰击后发生跃迁。
这种跃迁的电子因为不稳定回到基态，从而释放出来极紫外光。
这种方式虽然也可以获得极紫外光，可是它的能量转换效率却不高。
我们在研究中发现了可以替代它的材料，氮化铝。它的能量转换效率要高很多。"
众位专家听了纷纷低声议论起来。
方程趁着他
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